半導(dǎo)體行業(yè),是當(dāng)下人類文明的支柱,也是中國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)支柱性產(chǎn)業(yè)之一,其發(fā)展程度是衡量一個(gè)國(guó)家科技發(fā)展水平的核心指標(biāo)。近年來(lái),中國(guó)出臺(tái)了一系列政策,鼓勵(lì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體的整體發(fā)展,打破國(guó)外壟斷,增強(qiáng)科技競(jìng)爭(zhēng)力。深圳因勢(shì)利導(dǎo),參與全國(guó)競(jìng)合,打造中國(guó)硅谷,參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng),實(shí)現(xiàn)彎道超車,既有利于地區(qū)發(fā)展,也是國(guó)家發(fā)展之必須。
2023年6月,深圳市發(fā)布《關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來(lái)產(chǎn)業(yè)的意見(jiàn)》(簡(jiǎn)稱“《意見(jiàn)》”)。在“制造業(yè)立市”的驅(qū)動(dòng)下,深圳七大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)將進(jìn)一步拓展。
《意見(jiàn)》提出深圳將發(fā)展半導(dǎo)體與集成電路、網(wǎng)絡(luò)與通信、高清視頻顯示等20個(gè)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群,同時(shí)布局合成生物、區(qū)塊鏈、細(xì)胞與基因等8大未來(lái)產(chǎn)業(yè),到2025年,深圳戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)增加值將超過(guò)1.5萬(wàn)億元,成為推動(dòng)經(jīng)濟(jì)社會(huì)高質(zhì)量發(fā)展的主引擎。
發(fā)展半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè),必然少不了電子芯片的生產(chǎn)制造。提起芯片,相信大家并不陌生,世界已被芯片所包圍:2020年,全世界共生產(chǎn)了超過(guò)一萬(wàn)億芯片,這相當(dāng)于地球上每人擁有并使用130顆芯片。然而即使如此,芯片短缺依然表現(xiàn)出,這個(gè)數(shù)字還未達(dá)到上限。
盡管芯片已經(jīng)可以被如此大規(guī)模地生產(chǎn)出來(lái),但生產(chǎn)芯片也并非易事。制造芯片的過(guò)程十分復(fù)雜,關(guān)鍵的步驟是沉積、光刻膠涂覆、光刻、刻蝕、離子注入和封裝。而這些步驟進(jìn)行中都離不開(kāi)超純水,因?yàn)樾酒a(chǎn)過(guò)程需要超純水進(jìn)行清洗。
超純水是一種只有氧原子和氫原子的水,在自然界中是不存在的,只有在實(shí)驗(yàn)室才會(huì)看到。而且它的電阻率達(dá)到18MΩ·cm,是一種良好的絕緣材料,常被用于半導(dǎo)體芯片和集成電路工業(yè)上。
如此重要的超純水,生產(chǎn)過(guò)程也是十分嚴(yán)格的。超純水設(shè)備內(nèi)部安裝有反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),從根本上確保了設(shè)備的出水質(zhì)量。同時(shí),EDI處理裝置廢水產(chǎn)量少,不會(huì)污染環(huán)境。超純水設(shè)備系統(tǒng)特點(diǎn),主要采用了新的EDI技術(shù),減少了污染,符合綠色環(huán)保的工藝生產(chǎn)的特點(diǎn),生產(chǎn)技術(shù)克服了很多的缺點(diǎn),已經(jīng)得到了大力地推廣和應(yīng)用。有了超純水設(shè)備為超純水生產(chǎn)助力,自然也保障了芯片的超純水應(yīng)用,有利于芯片生產(chǎn)。
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